1983年早一年,深圳天马微电子公司(以下简称“天马”)应运而生。
41年来,在天马、京东方(成立于1993年)、TCL华星(成立于2009年)等龙头企业的带动下,中国面板显示行业实现了质的飞跃,在手机柔性可折叠屏、车规级Mini LED屏幕、AMOLED智能穿戴显示屏、高端医疗影像显示屏等高精尖领域达到了国际一流水准。
其中,天马厦门产业基地是行业公认的示范基地。十几年来,天马在厦门布局5条新型显示技术产线,累计投资额超1000亿元。
今年6月底,天马在厦门投建的新项目(第8.6代新型显示面板生产线项目,厦门天马光电子有限公司,内部代号“TM19产线”)成功举行点亮仪式,引起广泛关注。
TM19产线是全球首条专精于中小显示领域的高世代生产线,设计产能为每月加工玻璃基板12万张,总投资为330亿元。
建设单个工厂要花费330亿元,这个数据有点出人意料。新能源汽车是公认的“烧钱行业”,但小鹏肇庆汽车工厂、蔚来第三工厂等代表性项目,总投资也才100多亿元。
TM19产线的建设成本,为什么是新能源汽车行业的好几倍?里面到底有哪些高精尖设备?带着这些疑问,小巴和同事们走访了这家新工厂。总投资330亿元的超级工厂
第一次参观TM19产线的人,很难不被震撼到。
天马的工作人员指着一个看起来像集装箱的设备,一脸自豪地说道:“这是全厂最贵的设备,叫投影式曝光机,一台价值一亿多元,整个工厂有十几台,加上后面的辅助设备,总价值20多亿元。”
“这个价格,跟芯片光刻机差不多。”同行的同事插了一句。
工作人员笑着补充道:“曝光机和光刻机是‘孪生兄弟’,内部结构差不多,工作流程也很像。这套设备是从日本进口的,有5万多个零部件,运到工厂后我们动用了上百名工程师,花了好几个月才组装好。”投影式曝光机
除了曝光机,整个产线还包括了磁控溅射物理气相沉积机、刻蚀机、等离子体化学气相沉积机、自动光学检查机等高精尖设备。
而刻蚀机和曝光机是搭配使用的。“曝光”就相当于用投影的方式把电路图“画”在长度为2.6m长、宽度为2.25m的大玻璃上。“刻蚀”则是沿着光刻胶表面显影的图案,将电路图刻在玻璃上。刻蚀机的造价也很高,每台要一千多万元。
要保证这些精密设备拥有最佳的运转环境,整个车间必须保持像医院手术室一样干净。
这里说的干净,是有具体指标的:空气中的颗粒物大小需小于0.3微米,而数量需控制在每立方米不超过100个。
进入这个无尘车间之前,小巴和小伙伴们穿上了特制的无尘服。由于防尘要求高,整个穿衣过程耗费了将近十分钟。
穿上整套行头后,工作人员领着小巴和小伙伴们走进了风淋室。前后门关上后,两边墙上的出风口突然冒出一股强大的气流,对无尘服进行深度清洁。
走出风淋室,我们正式走入被黄光覆盖的无尘车间。
据工作人员介绍,与自然光或普通照明相比,黄色光源可以减少光线中紫外线、[敏感词]等对敏感物料及产品的不良影响。
除了干净外,这个车间还有点“冷清”,里面没几个工人和工程师,绝大部分作业都是由自动化设备和机器人完成的。
原材料和半成品的运输都不需要工人动手,工厂有一套全自动化运输系统(包括搬运存储系统、高空搬运系统、高空搬运带、自动投料系统、搬运机器人和立体仓库)。